光刻機(jī)是干什么用的？光刻機(jī)與蝕刻機(jī)哪個貴？
光刻機(jī)是做什么用的，我們手機(jī)中的芯片就是光刻機(jī)刻的嗎？光刻機(jī)一共就那么十幾臺，全球的芯片好幾個億，真刻的過來嗎？光刻機(jī)與蝕刻機(jī)哪個更貴？
2021-04-09
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匿名用戶
2021-04-09
光刻機(jī)是芯片制造流程中的核心設(shè)備，由于用途不同，分為生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、用來封裝的光刻機(jī)和LED領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。
芯片的制造流程很復(fù)雜，可以分為：硅片制備、外延工藝、熱氧化、擴(kuò)散摻雜、離子注入、薄膜制備、光刻、刻蝕和工藝集成等。
光刻工藝是制造流程中最關(guān)鍵的一步，光刻確定了芯片的關(guān)鍵尺寸，在整個制造過程中大約占了整體制造成本的35%。
蝕刻機(jī)分為兩類，目前主流的是濕刻，還有一類是干刻，濕刻就是特定的化學(xué)溶液和光刻機(jī)制作后的薄膜發(fā)生反應(yīng)后剩下的東西，就是需要的東西，整個過程有液體接觸，所以稱為濕刻。
光刻機(jī)要更貴一些，一般來說，一架光刻機(jī)是7000萬美元，而一架刻蝕機(jī)是700萬美元。
低端光刻機(jī)技術(shù)與刻蝕機(jī)是差不多的，高端光刻機(jī)技術(shù)會比刻蝕機(jī)要高的多;原理上光刻機(jī)與刻蝕機(jī)難度基本上相等。